1、真空 vacuum
在指定空间内，低于环境大气压力的气体状态。
注：真空一般是测量残余气体的压力，单位为Pascals(Pa)或millibar(mbar)。1 mbar=100 Pa。
2 、真空泵 vacuum pump
产生、改善和(或)维持真空的装置。
注：在本标准中，术语“真空泵”和“泵”具有相同的含义。
3、 泵入口 pump inlet
被抽气体进入真空泵的入口。
4、泵出口 pump outlet
真空泵的出气口或排气口。
5 、最高起动压力 maximum starting pressure
泵可以起动的最高入口压力。
6、最高出口压力 maximum outlet pressure
制造商规定的真空泵出口的最高压力。
7、真空泵的抽气量 throughput of a vacuum pump
流经泵入口的气体流量，通常表示为每单位时间内产生的气体压力与其体积的乘积。
8、被抽媒介 pumped media
被真空泵抽除的物质，如气体、水蒸气、雾状液体和夹带的固体微粒。
9、真空泵液 pump fluid
真空泵运转使用的液体。
10、初级真空泵 primary pump
最高出口压力等于或高于环境压力的泵。
11、次级泵 secondary pump
最高起动压力或最高出口压力低于大气压力或在较低压力的情况下运行的真空泵，它通常与初级泵相联，产生压强要低于单台初级泵产牛的压强。
12、抽气系统 pumping system
用来产生真空的配有附件的真空泵或真空泵机组。附件包括管路、阀门、过滤器、冷却器、控制装置和能够满足性能要求的其他装置。
13、容积真空泵 positive displacement pump
容积真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的装置，气体在排除前被压缩。
14、蒸气流泵 vapour pump
采用高速定向蒸气流携带和相互碰撞的气体分子把气体送至泵出口进行排气的真空泵。即：扩散泵和扩散喷射泵。
15、低温捕集泵 cryogenic entrapment pump
被抽介质或是在温度非常低的表面上(低于120 K)捕集，或使用大的有效面积的多孔媒介物在低温条件下来吸附被抽介质的真空泵。例如：低温泵和吸附泵。本文中使用的术语“低温”，其温度要低于120 K。
16、吸气剂泵 getter pump
主要通过与吸气剂产生化学反应来吸气的真空泵。吸气剂通常为金属或合金，其形状可为块状(容积吸气泵)或采用升华作用(升华泵)，以及用阴极溅射来蒸散吸气剂(溅射离子泵)。
17、分子泵 molecular pump
高速旋转的转子将动量传给气体分子，使其传输到泵的出口的真空泵。例如：牵引分子泵和涡轮分子泵。
18、最高允许工作压力 maximum allowable working pressure
由制造商规定的最高工作压力。
19、最低允许工作压力 minimum allowable working pressure
由制造商规定的最低工作压力。
20、烘烤 baking
加热真空系统的工艺，降低系统内表面气体解析速率从而获得更低的压力。
21、甲烷排除泵 methane drain pump
一种容积式真空泵，用来抽除垃圾站、矿石中和视甲烷为有害气体的环境下的甲烷气体。