1、干式真空泵——干泵
干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。
为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞
真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
液环真空泵跟水环泵一样,是一种粗真空泵,在国外,液环真空泵的销售额占全部真空泵市场的14%,仅次于干泵,在国内,石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等行业领域也占据了比较大的应用市场。
液环真空泵大部分是铸件,对加工要求不高,是劳动密集型产品,所以国产液环真空泵在价格上有着很大的竞争优势,但关键是要改进设计,缩小体积,减轻重量,提高效率,降低能耗。
3、罗茨真空泵
国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨真空泵,不过,罗茨真空泵产量不大,国外生产罗茨真空泵的几家大公司的销售额占全球罗茨真空泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%。但国外罗茨真空泵的价格远比国产泵要高得多。而国产罗茨真空泵在振动噪声、轴封漏油、外观质量方面如果能得到改善,可以进一步提高国外市场占有率。
国内的气冷式直排大气罗茨真空泵发展迅速,技术上已经比较成熟,其在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得到平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨真空泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。